Контракция микроволнового разряда в реакторе для газофазного осаждения алмаза

Обнаружено, что в смеси водород-метан в микроволновом плазменном реакторе для осаждения алмаза существует пороговое давление, начиная с которого происходит контракция микроволнового разряда. Приведены результаты измерений температуры газа и пространственных распределений интенсивности оптического излучения разряда. Обсуждается механизм контракции разряда.