Экспериментальное наблюдение эффекта ограничения каскада столкновений при распылении пористого кремния

Представлены результаты исследования масс-спектров вторичных ионов из образцов массивного кремния и пористого кремния с различными характерными размерами остова. Показано, что в случае распыления наноструктурированных образцов существенно возрастает относительный выход массивных кластерных ионов, причем при приближении характерного размера наночастиц к значениям пробега ионов в мишени этот эффект выражен наиболее ярко. Полученные результаты объяснены с точки зрения ограничения каскадов атомных столкновений в объеме образца.