Новый подход к анализу фазового состава углеродсодержащих материалов методом времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии

Исследуются новые возможности метода вторично-ионной масс-спектрометрии для анализа фазового состава углеродсодержащих материалов. Установлено отличие масс-спектров трех различных фаз углерода: алмаза, алмазоподобного углерода (DLC) и графита. Предложен простой алгоритм количественного определения концентрации различных фаз в двухфазных системах алмаз–графит и DLC–графит, основанный на измерении отношений интенсивностей кластерных вторичных ионов C$_{8}$/C$_{5}$ и CsC$_{8}$/CsC$_{4}$. Показано формирование неоднородных распределений разных фаз углерода по глубине в структурах алмаза после процесса лазерной резки и в DLC после термического отжига.