Аморфные пленки тройных оксидов цинка и олова для прозрачной электроники

Рассмотрены аморфные пленки двух разновидностей станната цинка (ZnSnO$_{3}$ и Zn$_{2}$SnO$_{4}$), изготовленные с помощью радиочастотного распыления керамических составных мишеней, содержащих ZnO и SnO$_{2}$ в соотношениях 1 : 1 и 2 : 1. Определены элементный и фазовый состав пленок, их оптические и электрические параметры. Прозрачность аморфных пленок в видимом диапазоне составляет в среднем 87%. Аморфные пленки станната цинка обладают высокой электропроводностью в отличие от аморфных ZnO и SnO$_{2}$. Приведено объяснение этого явления, позволяющего использовать аморфные пленки станната цинка в прозрачной и гибкой электронике.