А. А. Бобков, И. А. Пронин, В. А. Мошников, Н. Д. Якушова, А. А. Карманов, И. А. Аверин, П. А. Сомов, Е. И. Теруков, “Формирование литографических рисунков ограненными микрочастицами оксида цинка на кремниевой подложке”, Письма в ЖТФ, 2018, том 44, выпуск 15,страницы 87

Эта публикация цитируется в 7 статьях

Формирование литографических рисунков ограненными микрочастицами оксида цинка на кремниевой подложке

А. А. Бобков^ab, И. А. Пронин^ab, В. А. Мошников^ab, Н. Д. Якушова^a, А. А. Карманов^a, И. А. Аверин^a, П. А. Сомов^b, Е. И. Теруков^c

^a Пензенский государственный университет
^b Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина)
^c Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург

Аннотация: В рамках гидротермального метода разработаны приемы литографии, совместимой с кремниевой технологией. При этом топологические рисунки формируются из ограненных микрокристаллов с развитой поверхностью. Особый интерес представляют перспективы реализации новых иерархических структур.

Поступила в редакцию: 07.03.2018

DOI: 10.21883/PJTF.2018.15.46445.17281