RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Письма в Журнал технической физики // Архив

Письма в ЖТФ, 2018, том 44, выпуск 12, страницы 16–24 (Mi pjtf5773)

Эта публикация цитируется в 5 статьях

Влияние бора на структуру и проводимость тонких пленок, получаемых лазерной абляцией алмаза при 700$^\circ$C

Р. И. Романовa, В. Ю. Фоминскийa, П. В. Зининb, И. А. Троянc, Д. В. Фоминскийa, П. С. Джумаевa, В. П. Филоненкоd

a Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", г. Москва
b Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН, Москва, Россия
c Федеральный научно-исследовательский центр "Кристаллография и фотоника" РАН, Москва, Россия
d Институт физики высоких давлений им. Л. Ф. Верещагина РАН, Москва, Троицк, Россия

Аннотация: Исследованы структурные особенности тонких пленок СВ$_{x}$, полученных при импульсной лазерной абляции мишеней, изготовленных из прессованного алмазного порошка с добавлением порошка бора в соотношении атомов B/C = 0.33. Осаждение пленок проводилось на нагретые подложки, что обусловливало возможность диффузионных процессов на поверхности и в объеме пленок с участием атомов С и В. Установлено, что выбранные условия получения пленок обеспечивали их эффективное легирование бором (0.4 $\le x \le$ 0.6). Внедрение атомов В сопровождалось образованием химических связей В–С, а формирование графитовых $sp^{2}$-связей и их упорядочение в нанокластеры с ламинарной упаковкой подавлялось. При комнатной температуре пленки обладали очень низким удельным сопротивлением ($\sim$1.4 m$\Omega$ $\cdot$ cm) и проявляли металлический тип проводимости при понижении температуры до 77 K.

Поступила в редакцию: 02.03.2018

DOI: 10.21883/PJTF.2018.12.46286.17275


 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2018, 44:6, 511–514

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024