Упругое рассеяние атомных пар Mo–Mo, Mo–S и S–S в диапазоне относительных кинетических энергий 2–200 eV

Бинарные межатомные потенциалы Mo–Mo, Mo–S и S–S, апробированные методом молекулярной динамики, использованы для расчета сдвигов фаз и сечений упругого рассеяния атомов в диапазоне относительных кинетических энергий 2–200 eV. Ожидается, что полученные дифференциальные и интегральные сечения рассеяния будут полезны для описания распыления нанометровых слоев MoS$_{2}$, при проектировании перспективных устройств наноэлектроники и фотоники.