Новое ограничение разрешения по глубине при послойном элементном анализе методом времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии: влияние зондирующего ионного пучка

Получены новые данные о влиянии зондирующего пучка ионов висмута на разрешение по глубине при послойном анализе методом вторично-ионной масс-спектрометрии на установке TOF.SIMS-5, использующей принцип двух ионных пучков. Показано, что существующий критерий неразрушающего характера зондирующего пучка, лежащий в основе этого принципа, является недостаточным, установлены дополнительные процессы, которые необходимо учитывать для формулировки более точного критерия. Предложен режим послойного анализа, позволяющий повысить разрешение по глубине при низкой энергии распыляющих ионов.