Колебания фронта кристаллизации, вызванные гармоническими осцилляциями скорости вытягивания, для цилиндрической фазы роста кристалла

Для низкоградиентного способа выращивания Чохральского предложен метод измерения площади поперечного сечения кристалла с помощью весового датчика по разнице его показаний в крайних положениях штока при ступенчатом и непрерывном режиме модуляции cкорости вытягивания. Произведена оценка изменения скорости кристаллизации при гармонических колебаниях скорости вытягивания с целью сохранения качества выращиваемого кристалла при этом методе измерения.