Создание дифракционной решетки на алмазной подложке имплантацией ионами бора

Настоящее исследование относится к способам изготовления дифракционных оптических элементов (дифракционных решеток). Дифракционная решетка была получена на основе алмаза при его имплантации ионами бора через маску. В процессе имплантации в немаскированных областях облучаемого алмаза произошла графитизация алмаза, приведшая к распуханию облученного слоя. Формирование периодических поверхностных графитизированных микроструктур на поверхности алмаза контролировалось методами оптической, электронной и атомно-силовой микроскопии. Эффективность функционирования дифракционного оптического алмазного элемента показана путем его зондирования излучением гелий-неонового лазера.