Фазовый состав тонких пленок оксида олова, газочувствительных при температуре, близкой к комнатной

Исследован фазовый состав тонких поликристаллических пленок оксида олова на кремниевых подложках, полученных методом реактивного высокочастотного магнетронного распыления и обладающих чувствительностью к парам этанола при 38$^\circ$C. Было установлено, что они состоят из кристаллов SnO$_{2}$ со средним размером порядка 7 nm, покрытых нанометровым слоем аморфной фазы SnO. Также было установлено, что объемное содержание первой фазы составляет порядка 95%, а второй фазы – 5%. Проведенный расчет текстуры показал, что имеется преимущественный рост кристаллов SnO$_{2}$ вдоль кристаллографических направлений $\langle$110$\rangle$, $\langle$211$\rangle$ и $\langle$310$\rangle$ перпендикулярно подложке.