RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Письма в Журнал технической физики // Архив

Письма в ЖТФ, 2017, том 43, выпуск 12, страницы 52–58 (Mi pjtf6198)

Эта публикация цитируется в 2 статьях

Синтез графена методом холодной имплантации атомов отдачи углерода

Ю. А. Агафоновa, В. И. Зиненкоa, О. В. Кононенкоa, В. В. Сарайкинb

a Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Московская область, Черноголовка
b Государственный научно-исследовательский институт физических проблем имени Ф. В. Лукина

Аннотация: Предложен новый способ введения углерода в металлические каталитические пленки для синтеза графена. Способ основан на явлении имплантации атомов отдачи углерода из слоя молекул метана, адсорбированных на металлической пленке, при облучении такой структуры ионами инертных газов. Для увеличения толщины адсорбированного слоя метана образцы охлаждались до температуры -190$^\circ$C. Этот метод был реализован на поликристаллической пленке никеля. После отжига на поверхности никелевой пленки методом рамановской спектроскопии обнаружены многочисленные фрагменты многослойного графена.

Поступила в редакцию: 08.02.2017

DOI: 10.21883/PJTF.2017.12.44708.16736


 Англоязычная версия: Technical Physics Letters, 2017, 43:6, 567–569

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024