М. В. Зорина, С. Ю. Зуев, М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, “Повышение дифракционной эффективности решеток-эшелеттов за счет полировки поверхности штриха ионно-пучковым травлением”, Письма в ЖТФ, 2016, том 42, выпуск 16,страницы 34

Эта публикация цитируется в 12 статьях

Повышение дифракционной эффективности решеток-эшелеттов за счет полировки поверхности штриха ионно-пучковым травлением

М. В. Зорина^a, С. Ю. Зуев^a, М. С. Михайленко^a, А. Е. Пестов^a, В. Н. Полковников^ab, Н. Н. Салащенко^a, Н. И. Чхало^a

^a Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
^b Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского

Аннотация: Показана возможность повышения эффективности первого порядка дифракции (до 10 раз) дифракционных решеток-эшелеттов из стекла Ф1 в мягком рентгеновском и экстремальном ультрафиолетовом диапазонах длин волн за счет полировки поверхности штриха нейтрализованными ионами Ar с энергией 1250 eV. Обработка осуществляется при нормальном падении ионов на поверхность образца и съеме материала на уровне 80–300 nm. Предложен принцип оптимизации параметров процесса ионно-пучкового травления для решения конкретных задач по планаризации микроструктур с различными латеральными размерами.

Поступила в редакцию: 14.04.2016