Математическое моделирование мембранно-емкостного компенсационного преобразователя давления

Произведено математическое моделирование работы мембранно-емкостного преобразователя давления с электростатической компенсацией прогиба мембраны. Показано, что теория таких приборов некорректна и погрешность измерений давления с их помощью может достигать 25–29% от измеряемой величины, что делает нецелесообразным их использование в метрологии давления.