В. П. Белик, О. С. Васютинский, А. В. Кукин, М. А. Петров, Р. С. Попов, Е. И. Теруков, “Кристаллизация пленок аморфного гидрогенизированного кремния ($a$-Si : H) при облучении фемтосекундными лазерными импульсами”, Письма в ЖТФ, 2016, том 42, выпуск 15,страницы 36

Эта публикация цитируется в 3 статьях

Кристаллизация пленок аморфного гидрогенизированного кремния ($a$-Si : H) при облучении фемтосекундными лазерными импульсами

В. П. Белик^a, О. С. Васютинский^a, А. В. Кукин^a, М. А. Петров^ab, Р. С. Попов^ab, Е. И. Теруков^ac

^a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
^b Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
^c НТЦ тонкопленочных технологий в энергетике, г. С.-Петербург

Аннотация: Исследована кристаллизация тонких пленок аморфного гидрогенизированного кремния под действием импульсов фемтосекундного лазера. Обнаружено, что наблюдаемый эффект кристаллизации носит ярко выраженный пороговый характер и зависит от длины волны лазерного излучения. Показано, что наилучшие результаты кристаллизации достигаются при использовании длин волн лазерного излучения в диапазоне 740–760 nm.

Поступила в редакцию: 23.03.2016