Аннотация:
Исследуется обедненный кислородом анатаз с помощью квантово-химического моделирования в рамках теории функционала плотности и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Показано, что травление анатаза ионами аргона с энергией 2.4 keV приводит к формированию в кристалле кислородных вакансий и поливакансий с концентрацией порядка 10$^{20}$ cm$^{-3}$. Установлено, что наиболее энергетически выгодной пространственной конфигурацией поливакансии кислорода является трехмерная цепочка в кристаллографическом направлении [100] либо [010]. Обсуждается возможность поливакансии кислорода в виде цепочки выступать в роли проводящего филамента и участвовать в резистивном переключении.