Структурная инженерия вакуумно-дуговых покрытий системы MoN–CrN

Путем использования в качестве составляющих слоев переходных металлов Mo и Cr с относительно невысокой теплотой образования нитридов показаны возможности структурной инженерии в многослойной MoN/CrN-системе при изменении давления реакционного газа азота $P_{N}$ и и подачи на подложку отрицательного потенциала смещения -$U_{s}$. Установлено, что изменением $P_{N}$ от 7 $\cdot$ 10$^{-4}$ до 3 $\cdot$ 10$^{-3}$ Torr можно получить два разных фазово-структурных состояния: при низком давлении формируется многослойный композит неизоструктурного типа с гексагональной кристаллической решеткой в слоях нитрида хрома и с решеткой кубического типа в слоях нитрида молибдена, при высоком давлении происходит формирование изоструктурного состояния с кубической решеткой в нитридных слоях обоих типов. Наличие двух типов структурных состояний позволяет изменять твердость многослойного покрытия, которая в его изоструктурном состоянии достигает 38 GPa.