Влияние условий выращивания на морфологию поверхности и развитие механических напряжений в слоях Al(Ga)N в процессе газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений

Изучено влияние параметров технологического процесса на морфологию поверхности и развитие механических напряжений при газофазной эпитаксии слоев Al(Ga)N из металлоорганических соединений на сапфировых подложках. Минимизация растягивающих напряжений при сохранении атомарно-гладкой поверхности возможна при совместном использовании нитридизации подложки в потоке аммиака, формировании двухслойных структур AlN-Al(Ga)N за счет введения небольшой доли Ga (единицы процентов) после выращивания тонкого слоя AlN и снижения потока аммиака во время роста слоя Al(Ga)N.