Модификация свойств диоксида ванадия методом плазменно-иммерсионной ионной имплантации

Описано влияние гидрирования тонких пленок диоксида ванадия методом плазменной иммерсионной ионной имплантации на электропроводность пленок диоксида ванадия. Показано, что параметры фазового перехода металл-изолятор, наблюдающегося в пленках VO$_{2}$, зависят от дозы облучения. При дозах, превышающих некоторое пороговое значение, происходит металлизация пленок, фазовый переход исчезает. Водород удерживается в пленках значительно дольше, чем при гидрировании другими способами.