Энергетические распределения вторичных заряженных частиц при распылении газовыми кластерными ионами

Проведено экспериментальное исследование энергетических спектров заряженных частиц, эмитированных из поликристаллической меди при облучении кластерными ионами аргона и ксенона. Положительные частицы, выбитые кластерными ионами, имеют существенно меньшие энергии, чем при распылении атомарным аргоном. Спектры заряженных частиц, эмитированных при бомбардировке кластерами ксенона, систематически у́же, чем аналогичные спектры, полученные при бомбардировке кластерами аргона. Обнаруженные закономерности могут быть объяснены с точки зрения особенностей передачи энергии от кластера к мишени.