RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Письма в Журнал технической физики // Архив

Письма в ЖТФ, 2022, том 48, выпуск 5, страницы 20–23 (Mi pjtf7249)

Нелинейные эффекты при распылении арсенида галлия и кремния кластерными ионами висмута

А. Б. Толстогузовabc, П. А. Мажаровd, А. Е. Иешкинe, F. Meyerd, D. J. Fuc

a Рязанский государственный радиотехнический университет им. В.Ф. Уткина, Рязань, Россия
b Centre for Physics and Technological Research, Universidade Nova de Lisboa, Caparica, Portugal
c Key Laboratory of Artificial Micro- and Nanostructures of Ministry of Education and Hubei Key Laboratory of Nuclear Solid Physics, School of Physics and Technology, Wuhan University, Wuhan, China
d Raith GmbH, Dortmund, Germany
e Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, Москва, Россия

Аннотация: Проведено экспериментальное исследование влияния энергии и количества атомов в бомбардирующих ионах Bi$_n^+$ ($n$ = 1–4) на коэффициент распыления GaAs. Показано, что удельный коэффициент распыления $Y_{sp}$ неаддитивно увеличивается с ростом $n$ и кинетической энергии $E_{sp}$, приходящейся на один атом в бомбардирующем ионе, и эффективность передачи энергии от бомбардирующих ионов к атомам мишени также возрастает с ростом $n$. Проведено сравнение с полученными ранее результатами для Si-мишеней.

Ключевые слова: ионное распыление, коэффициент неаддитивности, кластерные ионы, висмут.

Поступила в редакцию: 08.11.2021
Исправленный вариант: 01.12.2021
Принята в печать: 02.12.2021

DOI: 10.21883/PJTF.2022.05.52150.19071



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025