RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Письма в Журнал технической физики // Архив

Письма в ЖТФ, 2022, том 48, выпуск 7, страницы 47–50 (Mi pjtf7283)

Взаимодействие молекулярных ионов кислорода с поверхностью меди: особенности энергетических спектров распыленных и обратнорассеянных ионов

А. Б. Толстогузовabc, С. И. Гусевa, D. J. Fuc

a Рязанский государственный радиотехнический университет им. В.Ф. Уткина, Рязань, Россия
b Centre for Physics and Technological Research, Universidade Nova de Lisboa, Caparica, Portugal
c Key Laboratory of Artificial Micro- and Nanostructures of Ministry of Education and Hubei Key Laboratory of Nuclear Solid Physics, School of Physics and Technology, Wuhan University, Wuhan, China

Аннотация: Проведено экспериментальное исследование энергетических спектров ионов, эмитированных с поверхности поликристаллической медной мишени при ее облучении молекулярными ионами O$_2^+$ с энергией 2 keV. Среди положительно заряженных вторичных ионов превалировали распыленные атомные ионы Cu$^+$ и O$^+$, а среди отрицательных ионов помимо распыленных ионов Cu$^-$, CuO$_2^-$, O$^-$ и O$_2^-$ были зарегистрированы довольно интенсивные упруго и неупруго обратнорассеянные ионы O$^-$, образованные при перезарядке бомбардирующих ионов O$_2^+$.

Ключевые слова: энергетические спектры, ионное распыление, обратнорассеянные ионы, перезарядка.

Поступила в редакцию: 22.11.2021
Исправленный вариант: 02.02.2022
Принята в печать: 02.02.2022

DOI: 10.21883/PJTF.2022.07.52294.19088



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025