Синтез и хеморезистивная чувствительность к водороду наноструктурированных пленок CuO

Высокопористые пленки CuO толщиной до 1 $\mu$m, состоящие из вертикально ориентированных нанопроволок диаметром $\sim$50 nm, были синтезированы в процессе испарения меди в вакуумно-дуговом разряде в аргон-кислородной атмосфере с последующим осаждением на нагреваемые подложки. Фазовый состав и поликристаллическая природа пленок подтверждены методом рентгеновской дифракции. На примере газообразного водорода (H$_2$) при рабочей температуре датчика 300$^\circ$C исследованы сенсорные характеристики пленок CuO. Описан качественный механизм влияния газа на электрические характеристики наноструктурированной пленки CuO.