Наносекундная одноимпульсная лазерная литография

А. Л. Богданов, К. А. Валиев, Л. В. Великов, Д. Ю. Зарослов, А. М. Прохоров

Институт общей физики АН СССР, г. Москва

Поступила в редакцию: 12.06.1985

Реферативные базы данных:

•