Высоковольтная электронная литография через трафаретные шаблоны

К. А. Валиев, Л. В. Великов, Р. Х. Махмутов, А. М. Прохоров

Институт общей физики АН СССР, Москва

Поступила в редакцию: 20.06.1985

Реферативные базы данных:

•