RUS
ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ
// Письма в Журнал технической физики
// Архив
Письма в ЖТФ,
1985
, том 11,
выпуск 18,
страницы
1110–1113
(Mi pjtf994)
Эта публикация цитируется в
1
статье
Кристаллизация и эффект отжига макродефектов в процессе высокоинтенсивной ионной имплантации полупроводниковых кристаллов
В. С. Андреев
,
С. Б. Ефимов
,
Ф. Ф. Комаров
,
А. П. Новиков
,
Т. Т. Самойлюк
,
В. С. Соловьев
,
С. Ю. Ширяев
Научно-исследовательский институт прикладных физических проблем им. А. Н. Севченко при Белорусском государственном университете им. В. И. Ленина
Поступила в редакцию:
17.06.1985
Полный текст:
PDF файл (368 kB)
Список цитирования
Реферативные базы данных:
©
МИАН
, 2024