RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Прикладная математика & Физика // Архив

ПМ&Ф, 2021, том 53, выпуск 1, страницы 53–72 (Mi pmf304)

Эта публикация цитируется в 4 статьях

ФИЗИКА. МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ

Современные и перспективные полупроводниковые материалы для микроэлектроники следующего десятилетия (2020-2030 гг.)

А. А. Демидов, С. Б. Рыбалка

Брянский государственный технический университет

Аннотация: В обзоре рассмотрены современные и перспективные полупроводниковые материалы (кремний ($Si$), карбид кремния ($SiC$), нитрид галлия ($GaN$), алмаз, оксид галлия ($Ga_2O_3$ ), нитрид алюминия ($AlN$), нитрид бора ($BN$)) с точки зрения их использования при импортозамещении существующих и создании новых изделий микроэлектроники. Дана оценка перспективности использования наиболее актуальных полупроводниковых материалов в ближайшее десятилетие.

Ключевые слова: кремний ($Si$), карбид кремния ($SiC$), нитрид галлия ($GaN$), алмаз, оксид галлия ($Ga_2O_3$ ), нитрид алюминия ($AlN$), нитрид бора ($BN$), силовая микроэлектроника.

Поступила в редакцию: 29.03.2021

DOI: 10.52575/2687-0959-2021-53-1-53-72



© МИАН, 2024