RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Прикладная механика и техническая физика // Архив

Прикл. мех. техн. физ., 2014, том 55, выпуск 3, страницы 192–204 (Mi pmtf1074)

Эта публикация цитируется в 6 статьях

Связанная модель формирования покрытия на подложке цилиндрической формы

С. А. Шанинa, А. Г. Князеваab

a Томский политехнический университет, 634004 Томск
b Институт физики прочности и материаловедения, 634021 Томск

Аннотация: Предложена связанная модель формирования покрытия на поверхности детали цилиндрической формы при осаждении из плазмы, учитывающая явления термодиффузии, диффузионной теплопроводности, переноса массы под действием градиента напряжений и образования химических соединений. Скорость роста покрытия считается заданной функцией скоростей частиц и их концентрации вблизи поверхности растущего покрытия. Задача решается численно. Показано, что в процессе роста перекрестные диффузионные потоки, диффузионная теплопроводность и термодиффузия приводят к уменьшению ширины переходной зоны между подложкой и покрытием. Это влияние становится наиболее существенным в случае, если подложка обладает низкой теплопроводностью.
Учет напряжений в системе покрытие – подложка, возникающих в процессе осаждения, приводит к изменению эффективных коэффициентов переноса и оказывает значительное влияние на результат моделирования распределения химических элементов и их соединений в покрытии.

Ключевые слова: осаждение покрытия, перекрестные эффекты, химические превращения, связанная модель.

УДК: 538.931

Поступила в редакцию: 28.02.2013
Исправленный вариант: 16.05.2013


 Англоязычная версия: Journal of Applied Mechanics and Technical Physics, 2014, 55:3, 539–550

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024