RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Прикладная механика и техническая физика // Архив

Прикл. мех. техн. физ., 2014, том 55, выпуск 2, страницы 94–100 (Mi pmtf1083)

Эта публикация цитируется в 8 статьях

Газоструйный синтез алмазоподобных пленок из потока газовой смеси $\mathrm{H}_2+\mathrm{CH}_4$

А. А. Емельянов, А. К. Ребров, И. Б. Юдин

Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, 630090 Новосибирск

Аннотация: Экспериментально изучен процесс синтеза алмазоподобных покрытий из высокоскоростного потока газовых смесей в режимах течения от свободномолекулярного до континуального со скоростями потока от сотен до тысяч метров в секунду при различных удельных расходах и температурах в случае активации газов на горячих поверхностях. Исследовано осаждение углеродных пленок при низком (менее 0,15 Па) и высоком (2600 Па) давлениях из смеси водорода и метана. Проведено прямое статистическое моделирование течения водорода в соответствии с условиями эксперимента с заданными температурами поверхностей и химическими превращениями на них. Установлено, что полученные при высоком давлении покрытия содержат характерные для алмаза частицы, а также необычные включения в виде призм с гексагональным сечением.

Ключевые слова: алмазоподобные пленки, газоструйное осаждение, прямое статистическое моделирование.

УДК: 537.534.2

Поступила в редакцию: 24.05.2013


 Англоязычная версия: Journal of Applied Mechanics and Technical Physics, 2014, 55:2, 270–275

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024