Аннотация:
Численно исследован сопряженный теплообмен при выращивании кристаллов мультикремния в плоскодонных тиглях по методу Бриджмена–Стокбаргера. С учетом теплоты фазового перехода решены нестационарные уравнения конвективного теплообмена в области, занятой расплавом кремния, а также уравнения теплопроводности в массиве затвердевшего кремния и в стенках графитового тигля правильной цилиндрической формы. Проведено сравнение процессов кристаллизации в режиме нестационарной теплопроводности и режиме термогравитационной конвекции.
Ключевые слова:кремний, рост кристаллов из расплава, метод Бриджмена–Стокбаргера, сопряженный конвективный теплообмен, учет теплоты фазового перехода, численное моделирование, метод конечных элементов.
УДК:
536.24: 621.746
Поступила в редакцию: 14.01.2011 Исправленный вариант: 16.02.2012