Прямое статистическое моделирование процессов образования и роста кластеров при расширении пара от внезапно включенного сферического источника

Рассмотрены процессы образования кластеров кремния при расширении пара в окружающем инертном газе от внезапно включенного сферического источника. Для описания разлета пара и процесса конденсации используется метод прямого статистического моделирования. Предложена модель кластеризации, включающая описание реакций, приводящих к росту и распаду кластеров, и соответствующих процессов энергообмена. Рассмотрены основные закономерности формирования кластеров при разлете пара в газе.