Генерация и регистрация возмущений в потоке газа. 1. Формирование массивов микротрубчатых нагревателей и сенсоров

Предложен новый способ создания саморегулирующейся поверхности для подавления турбулентности и сохранения ламинарного режима сверхзвукового обтекания. Разработаны методы формирования сверхбыстродействующих измерительных и исполнительных элементов такой поверхности. Предложены конструкции указанных элементов (сенсоров и актюаторов), представляющие собой изготовленные из SiO$_2$/Si$_3$N$_4$/Au и InGaAs/GaAs/Au и подвешенные над подложкой микротрубки, стенки которых имеют нанометровую толщину и к которым подсоединены электрические контакты. Макеты распределенных массивов трубчатых микросенсоров и микроактюаторов изготовлены в едином технологическом процессе с использованием хорошо развитой планарной технологии и технологии сворачивания напряженных гетеропленок.