Численное моделирование газодинамической проводимости микроканалов с учетом структуры их поверхности

Методом пробной частицы исследовано влияние структуры поверхности микроканалов на свободномолекулярное течение газа. Расчеты выполнены для каналов, поверхность которых либо получена путем статистического моделирования, либо восстановлена по данным атомно-силовой микроскопии реальных поверхностей. Рассмотрены зависимости рассеяния монохроматического молекулярного пучка от угла падения и средней высоты поверхностной микронеровности. Показано, что разработанная методика позволяет получать функцию распределения частиц, отраженных от шероховатой поверхности, и использовать ее в граничных условиях в задачах динамики разреженного газа.