А. А. Папин, А. П. Мажирин, “Пример точного решения задачи о распределении ионизованной примеси в приповерхностной области полупроводника”, Прикл. мех. техн. физ., 1998, том 39, выпуск 4,страницы 17

Пример точного решения задачи о распределении ионизованной примеси в приповерхностной области полупроводника

А. А. Папин^a, А. П. Мажирин^b

^a Алтайский государственный университет, 656099 Барнаул
^b Институт физики полупроводников СО РАH, 630090 Новосибирск

Аннотация: Построено точное решение нелинейной задачи, в которой определяются электростатический потенциал и профиль распределения ионизованной примеси в приповерхностной области полупроводника.

УДК: 517.93+537.33

Поступила в редакцию: 29.07.1996
Принята в печать: 28.11.1996