В. А. Швейгерт, М. И. Жиляев, И. В. Швейгерт, “Моделирование моносилановой плазмы ВЧ-разряда”, Прикл. мех. техн. физ., 1994, том 35, выпуск 1,страницы 13

ЖУРНАЛЫ // Прикладная механика и техническая физика // Архив

Прикл. мех. техн. физ., 1994, том 35, выпуск 1, страницы 13–21 (Mi pmtf3743)

Эта публикация цитируется в 2 статьях

Моделирование моносилановой плазмы ВЧ-разряда

В. А. Швейгерт, М. И. Жиляев, И. В. Швейгерт

г. Новосибирск

УДК: 537.525

Поступила в редакцию: 03.03.1993

Полный текст: PDF файл (881 kB)
Список цитирования

Англоязычная версия: Journal of Applied Mechanics and Technical Physics, 1994, 35:1, 13–20