Исследование лазерно-водоструйной обработки карбида кремния

Исследуется влияние скорости струи воды и угла ее наклона на свойства по-верхности после ее лазерно-водоструйной обработки. Установлено, что с увеличением угла наклона струи воды глубина лазерно-водоструйной обработки поверхности увеличивается, однако скорость увеличения уменьшается, если угол наклона струи воды увеличивается с 60 до 75$^\circ$. При увеличении скорости струи воды глубина лазерно-водоструйной обработки поверхности увеличивается.