А. Е. Булышев, Н. В. Денисова, Н. Г. Преображенский, А. Е. Суворов, “Расчет характеристик безэлектродного ВЧ-разряда”, Прикл. мех. техн. физ., 1988, том 29, выпуск 2,страницы 3

Расчет характеристик безэлектродного ВЧ-разряда

А. Е. Булышев, Н. В. Денисова, Н. Г. Преображенский, А. Е. Суворов

г. Новосибирск

Аннотация: Предложена математическая модель плазмы безэлектродного ВЧ-разряда в приближении максвелловского распределения электронов по энергиям и пренебрежении объемной рекомбинацией. На ее основании сделаны оценки для мощности разряда и характерного значения электронной плотности как функции внешнего поля. Проведенный для аргоновой плазмы расчет позволил получить количественные данные по распределению электронной концентрации, температуры и электромагнитного поля в пространстве.

УДК: 533.9.01

Поступила в редакцию: 05.01.1987