Е. Т. Протасевич, “Возбуждение индукционного ВЧ-разряда”, Прикл. мех. техн. физ., 1988, том 29, выпуск 5,страницы 13

Возбуждение индукционного ВЧ-разряда

Е. Т. Протасевич

г. Томск

Аннотация: Приведены описание обмотки возбуждения ВЧE-разряда и параметры плазмы, найденные при $f$ = 36–37 МГц, $P$ = 40–60 кВт, $\tau$ = 10–60 мс, $F$ = 1–5 Гц.

УДК: 537.521.7

Поступила в редакцию: 16.06.1987