Синтез алмазов из микроволновой плазмы с использованием сверхзвуковых потоков газа

Впервые реализован новый способ осаждения алмазных пленок с использованием сверхзвуковых потоков газов, активированных сверхвысокочастотным разрядом. Принцип работы предложенного газоразрядного устройства аналогичен принципу работы микроволнового электротермического ракетного движителя. В качестве плазмообразующего газа используется смесь углеводородов и водорода. Показано, что предлагаемый способ позволяет использовать плазмообразующий газ при давлениях, существенно превышающих верхний предел рабочих давлений современных газоразрядных устройств осаждения пленок в плазме сверхвысокочастотного разряда (приблизительно 40000 Па).