А. И. Сафонов, В. С. Суляева, А. Л. Богословцева, Н. И. Тимошенко, “Влияние расхода газа-предшественника на скорость роста фторполимерного покрытия при осаждении методом HWCVD”, Прикл. мех. техн. физ., 2018, том 59, выпуск 5,страницы 87

Эта публикация цитируется в 3 статьях

Влияние расхода газа-предшественника на скорость роста фторполимерного покрытия при осаждении методом HWCVD

А. И. Сафонов^a, В. С. Суляева^b, А. Л. Богословцева^a, Н. И. Тимошенко^a

^a Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия
^b Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия

Аннотация: Экспериментально исследован процесс формирования фторполимерного покрытия методом химического осаждения. Обнаружено, что с увеличением расхода газа-предшественника происходит существенное уменьшение скорости роста покрытия. Выполнен анализ условий осаждения, проведена оценка газодинамических параметров процесса. Показано, что результаты оценок согласуются с экспериментальными данными.

Ключевые слова: фторполимер, тонкие пленки, метод HWCVD, газодинамический режим течения, катализатор.

УДК: 533.17: 541.64

Поступила в редакцию: 28.06.2018

DOI: 10.15372/PMTF20180510