Аннотация:
С целью развития газофазного метода осаждения алмазных структур методом прямого статистического моделирования исследовано течение смеси водорода с метаном через коаксиальные нагретые вольфрамовые цилиндрические каналы со встроенной в них вольфрамовой спиралью. На основе решения системы уравнений химической кинетики рассчитывались аксиальные распределения концентраций компонентов водородно-углеродной смеси. Проведена серия экспериментов по осаждению алмазных структур из различных потоков смеси водорода и метана. Проведено сравнение результатов расчетов и экспериментальных данных, позволившее сделать вывод о возможности использования расчетной оптимизации режимов работы газодинамических реакторов при осаждении алмазных структур.