RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Прикладная механика и техническая физика // Архив

Прикл. мех. техн. физ., 2017, том 58, выпуск 5, страницы 142–150 (Mi pmtf667)

Эта публикация цитируется в 15 статьях

Синтез алмазных структур из струи смеси $\mathrm{Н}_2+\mathrm{СН}_4$ в спутном осесимметричном потоке водорода

А. К. Ребров, А. А. Емельянов, М. Ю. Плотников, И. Б. Юдин

Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия

Аннотация: С целью развития газофазного метода осаждения алмазных структур методом прямого статистического моделирования исследовано течение смеси водорода с метаном через коаксиальные нагретые вольфрамовые цилиндрические каналы со встроенной в них вольфрамовой спиралью. На основе решения системы уравнений химической кинетики рассчитывались аксиальные распределения концентраций компонентов водородно-углеродной смеси. Проведена серия экспериментов по осаждению алмазных структур из различных потоков смеси водорода и метана. Проведено сравнение результатов расчетов и экспериментальных данных, позволившее сделать вывод о возможности использования расчетной оптимизации режимов работы газодинамических реакторов при осаждении алмазных структур.

Ключевые слова: алмазные структуры, газоструйное осаждение, термическая активация, прямое статистическое моделирование.

УДК: 537.534.2

Поступила в редакцию: 07.06.2017

DOI: 10.15372/PMTF20170514


 Англоязычная версия: Journal of Applied Mechanics and Technical Physics, 2017, 58:5, 881–888

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024