Рассеяние атомов аргона с энергией 0,15–1,8 эВ от поверхности германия

Экспериментально исследовано рассеяние атомов Аr с энергией $E_0$ = 0,15–1,8 эВ от поверхности (111) монокристалла германия при наличии и отсутствии адсорбированного слоя. Этот диапазон энергий был достигнут ускорением Ar в бинарной смеси Ar–Не или Ar–Н$_2$, истекающей из соплового источника молекулярного пучка. Для выделения из смеси компонента Аг использовалась регистрация возбужденных атомов Ar$^*$, образующихся при бомбардировке молекулярного пучка поперечным пучком электронов. Применение время-пролетной техники позволило получать наряду с диаграммами рассеяния угловые распределения средней скорости. Исследования проведены при температуре мишени $T_{\text{м}}$ = 20 и 600$^\circ$С, что соответствует наличию и отсутствию адсорбированного слоя. Установлено, что при $T_{\text{м}}$ = 20$^\circ$С рассеяние не всегда соответствует полностью диффузному: при $E_0>$ 0,5 эВ появляется значительная по величине лепестковая компонента. При $T_{\text{м}}$ = 600$^\circ$С все диаграммы рассеяния имеют лепестковый характер с максимумом в направлении между зеркальным лучом и плоскостью мишени. Изменение $E_0$ от 0,15 до 1,8 эВ увеличивает сдвиг максимума от зеркального луча, полуширина диаграммы при этом уменьшается. Характер угловых распределений скорости рассеянных атомов существенно зависит от $E_0$. Величина потери энергии налетающих атомов при $T_{\text{м}}$ = 20$^\circ$С объясняется с помощью простой модели последовательного столкновения атома Аr с адсорбированной молекулой и чистой поверхностью.