Е. Л. Панкратов, П. Б. Болдыревский, “Задача конвективной диффузии из газовой фазы к вращающемуся диску”, Прикл. мех. техн. физ., 2016, том 57, выпуск 4,страницы 74

Эта публикация цитируется в 2 статьях

Задача конвективной диффузии из газовой фазы к вращающемуся диску

Е. Л. Панкратов, П. Б. Болдыревский

Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского, 603950 Нижний Новгород, Россия

Аннотация: Предложена методика аналитического расчета скорости потока газовой смеси и концентрации ростового компонента в процессе эпитаксии из газовой фазы, происходящей в реакционной камере с вращающимся диском-подложкодержателем. Проведен анализ зависимости концентрации ростового компонента от ряда технологических параметров процесса эпитаксии.

Ключевые слова: эпитаксия из газовой фазы, конвективная диффузия, диск-подложкодержатель.

УДК: 533.7: 533.22

Поступила в редакцию: 31.03.2014
Исправленный вариант: 28.05.2015

DOI: 10.15372/PMTF20160407