A. M. Андриеш, Ю. А. Быковский, В. Л. Смирнов, М. Р. Черний, А. В. Шмалько, “Фотоприемные элементы и дифракционные решетки рельефного типа в тонких пленках As2S3 для интегральной оптики”, Квантовая электроника, 5:5 (1978), 1090

Эта публикация цитируется в 1 статье

Фотоприемные элементы и дифракционные решетки рельефного типа в тонких пленках As₂S₃ для интегральной оптики

A. M. Андриеш^ab, Ю. А. Быковский^ab, В. Л. Смирнов^ab, М. Р. Черний^ab, А. В. Шмалько^ab

^a Московский инженерно-физический институт
^b Институт прикладной физики АН МССР, Кишинев

Аннотация: Исследуются возможности построения комбинированных приемно-регистрирующих интегрально-оптических элементов и создания дифракционно-решетчатых структур рельефного типа на поверхности тонкопленочных волноводов на основе халькогенидных аморфных полупроводников системы As–S–Se для целей интегральной оптики. Созданы фотоприемные элементы и устройства ввода излучения и преобразования мод в тонкопленочных волноводах на основе As₂S₃.

УДК: 621.373.826:621.396

PACS: 42.82.+n, 42.80.Lt, 85.60.Gz

Поступила в редакцию: 28.04.1977