В. П. Тычинский, Г. Э. Куфаль, Т. В. Вышенская, Е. В. Переведенцева, С. Л. Никандров, “Измерения субмикронных структур на лазерном фазовом микроскопе «Эйрискан»”, Квантовая электроника, 24:8 (1997), 754

Эта публикация цитируется в 17 статьях

Применения лазеров и другие вопросы квантовой электроники

Измерения субмикронных структур на лазерном фазовом микроскопе «Эйрискан»

В. П. Тычинский, Г. Э. Куфаль, Т. В. Вышенская, Е. В. Переведенцева, С. Л. Никандров

Московский государственный технический университет радиотехники, электроники и автоматики

Аннотация: На лазерном фазовом микроскопе с обычной оптической системой получены изображения сфер латекса диаметром 100 нм, различных вирусов и других микрообъектов. Показана необходимость для получения адекватных изображений точной фокусировки (~30 нм) и большой числовой апертуры объектива. Обсуждаются специфические свойства субволновых фазовых изображений и характерные артефакты в изображениях субмикронных структур.

PACS: 07.60.Pb, 42.62.Hk, 87.64.Ni

Поступила в редакцию: 28.10.1996