В. М. Бояков, В. М. Епихин, Б. А. Калин, М. К. Махатов, И. Н. Николаев, Г. Н. Шишкин, “Напыление пленок химических элементов с помощью лазера на неодимовом стекле”, Квантовая электроника, 5:7 (1978), 1582

Эта публикация цитируется в 2 статьях

Краткие сообщения

Напыление пленок химических элементов с помощью лазера на неодимовом стекле

В. М. Бояков, В. М. Епихин, Б. А. Калин, М. К. Махатов, И. Н. Николаев, Г. Н. Шишкин

Московский инженерно-физический институт

Аннотация: Для напыления тонких пленок использовался лазер на неодимовом стекле, работающий в квазинепрерывном режиме. При интенсивностях излучения лазера q >1 МВт/см² получены тонкие (~10 нм) однородные по толщине пленки большого числа элементов таблицы Менделеева. Пленки имели в основном поликристаллическую структуру.

УДК: 621.373.826.038.825.3

PACS: 68.55.+b, 81.15.Ef, 42.60.Kg

Поступила в редакцию: 11.11.1977