Аннотация:
Создан широкоапертурный (6×6 см) эксимерный лазер на XeCl с энергией генерации 5 Дж, способный работать в импульсно-периодическом режиме. Экспериментально установлена корреляция неоднородности предыонизации с неоднородностью объемного разряда и генерации. Показано, что скорость нарастания тока в различных областях разряда зависит от контурной индуктивности рассматриваемой области. В разряде по поверхности диэлектрика, используемом для УФ предыонизации, обнаружены «горячие точки», излучение которых приводит к значительно более эффективной предыонизации газа, чем излучение остальных участков поверхностного разряда.