Аннотация:
Исследуются магнитные характеристики магнитных пленок на кремниевых подложках, полученных лазерной абляцией объемных мишеней состава Co68.15Fe4.35B15Si12.5 со скомпенсированной магнитострикцией. Впервые установлено, что неоднородное магнитное поле, направленное перпендикулярно подложке, может улучшать магнитомягкие свойства пленок. Установлено, что неоднородное магнитное поле с максимальной напряженностью 2.4 кЭ может искажать пространственную структуру лазерного факела, фокусируя его на подложку, что приводит к увеличению скорости осаждения пленок. Показано, что зависимости коэрцитивности и поля анизотропии от температуры подложки имеют минимум. Рассмотрено влияние ориентации подложки относительно лазерного факела на магнитные свойства и скорость осаждения полученных пленок.