Особенности лазерного напыления аморфных магнитных пленок состава Co–Fe–B–Si в неоднородном магнитном поле

Исследуются магнитные характеристики магнитных пленок на кремниевых подложках, полученных лазерной абляцией объемных мишеней состава Co_68.15Fe_4.35B₁₅Si_12.5 со скомпенсированной магнитострикцией. Впервые установлено, что неоднородное магнитное поле, направленное перпендикулярно подложке, может улучшать магнитомягкие свойства пленок. Установлено, что неоднородное магнитное поле с максимальной напряженностью 2.4 кЭ может искажать пространственную структуру лазерного факела, фокусируя его на подложку, что приводит к увеличению скорости осаждения пленок. Показано, что зависимости коэрцитивности и поля анизотропии от температуры подложки имеют минимум. Рассмотрено влияние ориентации подложки относительно лазерного факела на магнитные свойства и скорость осаждения полученных пленок.