Компактный KrF-лазер мощностью 600 Вт

Рассматриваются результаты экспериментального исследования мощного электроразрядного KrF-лазера с УФ предыонизацией. Показано, что рост средней мощности в лазере наблюдается при увеличении частоты следования импульсов вплоть до 620 Гц — частоты, при которой достигается максимальная для рассматриваемого класса лазеров средняя мощность излучения 630 Вт. Полученные результаты демонстрируют реальные перспективы создания индустриального KrF-лазера со стабилизированной средней мощностью 300 — 500 Вт. При стабилизированной средней мощности 300 Вт лазер мог работать непрерывно, без смены газовой смеси 8 ч (12·10⁶ импульсов), при этом нестабильность генерации от импульса к импульсу составляла ~2%.