Аннотация:
Проводится анализ технологических разработок и физических исследований в области лазерной обработки тонких пленок. Отмечается, что это направление является одним из самых перспективных в современной лазерной технологии. Особое внимание уделяется рассмотрению специфических особенностей воздействия лазерного излучения на тонкопленочные объекты и выявлению общих закономерностей их разрушения. На этой основе
формируются критерии выбора лазера, оптической системы обработки, оптимальных характеристик светового потока.
УДК:
621.378.3.004.14:539.23.002
PACS:
42.60.Qm, 78.65.+t
Поступила в редакцию: 04.09.1974 Исправленный вариант: 18.11.1975